酸化タングステンフィルム

タングステン酸化物膜は、現在、REO構造の最も魅力的なイオン感応性色材の一つです。この結晶構造は、W6の+に実際にABO 3型ペロブスカイト構造空きカチオンサイトAとBビットです。陽イオン源がある場合には、電界が正イオンMと電子拡散および移動WO3膜を引き起こすために適用される。負の電圧は、WO、正イオンが注入されWO3膜上に塗布されると、タングステンブロンズMxWO3を形成するための「A」の位置のいずれかを占めます。電圧は、WO3膜から抽出されたイオンを注入する、逆転します。

イオン注入及び抽出プロセスは可逆電気化学反応です。酸化タングステン膜のイオン注入および抽出プロセスは、フィルムの光学特性（光透過率、反射率、吸光度、屈折率など）および電気的特性は、有意な変化を受ける。例えば、半導体に絶縁体からのイオン注入量X、MxWO3の増加にも金属的性質を有しているとともに、抵抗率の変化は、6〜015X01`ncm範囲内で起こり得る。したがって、フィルムは、透明状態が可逆的に深い青色の間で変更になります。薄膜光スイッチスマートウィンドウ（SmratWindow）、情報ディスプレイ、ガスセンサー、pHがプローブおよびその他の分野WOこのイオン感応色の効果は、広範なアプリケーションの見通しを持っている。

1969年以来、デブはタングステン酸化物薄膜80年代のエレクトロクロミック現象、人々エレクトロクロミック材料の深化を発見しました。調製方法および調製物は、別の調製方法により調製タングステン酸化膜カラーフィルムの性能に大きな影響は、結晶型構造の点でかなり異なっている。

WO3方法は、熱蒸着膜、及びWO3膜特性に異なる熱処理温度の異なる効果の350℃℃450の温度範囲から雰囲気熱処理になるフィルムによって調製した。 385℃までときアニール温度、WO3膜の色容量の拡大、急激な減少の増加とともに;結果は、雰囲気中での熱処理は、フィルムが完全に結晶化するまで390℃、450℃で結晶化し始めたことを示し、それは考慮する雰囲気中での熱処理、熱処理温度が増加すると、酸素原子WO3は、そのようにエレクトロクロミックの効率を増加させる。 、100℃で、それぞれ、WO 3膜のツインマグネトロンスパッタリング反応IF200℃を用いて金属タングステンターゲット、300℃、400℃、500℃のアニール1H、結果はフィルムが1時間200℃でアニールすることを示し、可視範囲内良好なエレクトロクロミック特性を示す50％以上のフェード状態の透過率の差が、内。