セラミック三酸化タングステンターゲット
三酸化タングステン（WO 3、三酸化タングステン）のためにシステムで使用され、その優れたエレクトロクロミック特性の重要な特徴のフィルム材料です。電子ビーム蒸着は、従来のWO3成膜材料の2種類のエレクトロクロミックWO 3粉末のWO3ターゲットを準備しました。より多くの現在の研究は、蒸着材料としてWO 3粉末の使用であるが、粉末の形態を使用することは一般的に不適切であるため、蒸着材料を選択するが、粉末の形態を使用することが一般的に不適切であるため、蒸着材料を選択するが、粉末の形態を使用することは通常ではありません適切な。蒸着材料は、最適化プログラムがあるようにWO3ターゲットを選択します。しかし、国内外ではなく、WO3のターゲット調製の報告は少ないです。準備WO3ターゲット国内の研究室では、純粋なまたは不利の低密度があるので、高純度のWO3の目標濃度の準備が重要です。
高純度超小型WO3ターゲットの製造のために形成三最適化の組み合わせは、上記目的を達成するために必要な条件であり、研究の三つの側面を、焼結、粉末からフレームもよいです。具体的な研究が含まれます：
製剤は、高純度、焼結活性と抑制（1）WO 3粉末を微調整することができます。
原料として、国内の高純度酸化タングステン（99.99％を超える）を使用する、実験的な粉末圧延を製造するための低エネルギーボールミリング、製粉、破砕機構と粒径及び純度などの技術、メディアおよび他の構造の影響を調べます。
（2）プロセスの最適化WO3セラミックス押します。
WO3（介在物を回避するために、高硬度、抵抗及びタングステンカーバイドインサートモールドの主化学組成を着用）異なる圧力ダイにおける造粒粉、圧力及びグリーン密度と離散最良の探索の間の関係の分析プロセスを押します。
（3）焼結プロセスの最適化WO3セラミックス。
WO3焼結プロセス、酸素を介して実験を通して焼結工程の昇華を抑制するためです。温度と焼結体の密度の影響を調査するために最適なを見つける引き起こしました。
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