高純三氧化鎢
高純鎢或超高純鎢(99.999%或99.9999%)具有對電子遷移的高電導、高溫穩定性以及能形成穩定的矽化物,在電子工業中以薄膜形式用作柵極、連接和障礙金屬,也用作半導體的配線用材。某些雜質元素對特定的鎢材料性能也有重要的影響。
三氧化鎢作為工業生產鎢粉的重要中間產物,其純度、性能直接影響後續制得鎢粉性能的好壞。
高純三氧化鎢外觀呈黃色或淡黃色粉末,產品無夾雜物或團塊,其費氏細微性為12~25um,產品過篩通過80目的篩網。
5N級高純三氧化鎢化學成分表(ppm, max.)
6N級高純三氧化鎢化學成分表(ppm, max.)