텅스텐 삼산화물 세라믹 목표
삼산화 텅스텐 (WO3)을하기 때문에, 시스템에 사용되는 우수한 전기 특성의 중요한 기능 필름 물질이다. 전자빔 증발 종래 WO3 성막 재료 두 종류의 전기 WO3 분말 WO3의 타겟을 제조 하였다. 더 최근 연구는 증착 재료로서 WO3 분말을 이용하지만, 분말 형태를 사용하는 것은 일반적으로 부적당하므로 증착 재료를 선택하지만, 분말 형태를 사용하는 것이 일반적으로 부적당하므로 증착 재료를 선택하지만, 분말 형태를 사용하는 것이 통상이고 에 적합합니다. 증착 재료가 최적화 프로그램은 WO3 그래서 타겟을 선택한다. 그러나 국내외하지만, WO3 대상 준비의 몇 가지 보고서가있다. WO3 대상 국내 연구소 제조 순수 또는 결점의 낮은 밀도가 있으므로 고순도 타겟 밀도 WO3의 제조에 중요한 의미를 갖는다.
고순도 초소형 WO3 타겟의 제조에 형성하고, 세 최적의 조합은 상기 목표를 달성하기위한 필요 조건 인 연구의 세 측면을 소결 분말로부터 프레임 수있다. 구체적인 연구는 다음과 같습니다 :
준비 WO3 분말을 미세 (1) 고순도, 소결 활성 및 억제;
원료 실험적 분말 압연 제조 분쇄 메커니즘을 밀링 및 구조물의 크기 및 순도 등 기술 매체의 효과를 조사하고 낮은 에너지 볼 밀링 공정 국내 고순도 (이상 99.99 %)를 이용하여 산화 텅스텐.
(2) 프로세스 최적화 WO3 세라믹스 가압;
다른 압력 다이의 WO3 과립 분말 (개재물 고경 방지 성 및 초경 인서트 몰드의 주요 화학 성분 착용)의 압력 및 그린 밀도 및 이산 가장 탐색 관계 분석 프레스 공정.
(3) 소결 공정 최적화 WO3 세라믹스.
WO3 소결 공정을 통해 산소 실험을하는 동안 소결 공정의 승화를 억제하기 위해서. 온도 및 소결체의 밀도의 영향을 조사하기 위하여 최적의 찾기를 일으켰다.
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