Оксид вольфрама тонкой пленки

Оксида вольфрама тонкая пленка является наиболее отличительной иончувствительные цвет материала, он имеет структуру ReO. Это кристаллическая структура на самом деле типа ABO3 структурой перовскита вакантных мест катионов А и B бит в W6 +. Когда есть положительный источник ионов, то электрическое поле, чтобы вызвать положительные ионы М и диффузию электронов и миграции WO3 films.When отрицательное напряжение подается на WO, положительные ионы имплантированных пленок WO3, занимают одно из "A "положение, чтобы сформировать вольфрамовой бронзы MxWO3. Когда напряжение восстанавливается, имплантацией ионов, извлеченные из WO3 пленки.

Процесс впрыска ионов и добыча обратимой электрохимической реакции. Во время ионной имплантации и извлечения процессе оксида вольфрама фильма, оптические свойства пленки (коэффициент пропускания света, отражения, поглощения и преломления и т.д.) и электрические свойства претерпит значительные изменения. Например, с увеличением ионной имплантации количество Х, MxWO3 из изолятора в полупроводник даже иметь металлические свойства, изменение удельного сопротивления может произойти в течение 6 ~ 01 5X01`ncm диапазоне. Кроме того, фильм обратимо изменяет между прозрачного состояния до глубокого синего. Этот ион-чувствительного цвета эффекты WO тонкой пленки может быть применен в оптических коммутаторах смарт стекла (SmratWindow), информационные дисплеи, датчики газа, рН зондов и других областях.

Поскольку оксид вольфрама электрохромный был найден в 1969 году Деб, люди сделали много исследований о электрохромных материалов. Метод Получение влияет на оксид вольфрама тонкого свойства пленки. Различные Способ получения вызовет различную форму и структуру кристаллической пленки тонким.

Изготовление тонкой пленки WO3 термическим испарением, лечения пленку в атмосфере от 350 ° С до 450 ℃, эффекты различного диапазона температур на тонкой пленке исследовано. Это показывает, что в атмосфере, тонкая пленка начинает кристаллической под 390 градусов по Цельсию, закончил в 450 градусов по Цельсию. С повышением температуры, WO3 тонкопленочный меняет свой цвет.